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碳化硅薄膜在低辐射镀膜玻璃中的应用

2018.06.10

1、现状

  近年来,在可钢化low-e玻璃(大板膜玻)在我国得到一定的推广,但是整体质量并不够高,因为现有的low-e玻璃抗机械划伤性能不够高,抗高温氧化能力还不够强,高性能产品成本很高,因此解决上述问题已经迫在眉睫。

  在大面积镀膜领域,SiNx介质层膜的应用越来越广泛。SiNx具有较好的抗腐蚀、抗机械划伤的、抗高温氧化能力。因此SiNx作为外层保护层来使用,目前出现的可钢化low-e玻璃的外层也是用的SiNx材料。可钢化low-e玻璃投入市场使得low-e玻璃的应用得到了很大范围的推广。但是low-e玻璃在民用建筑领域使用的还是不够广泛,其重要的问题就是成本较高。降低low-e玻璃的成本将成为普及low-e玻璃的重要议题,也将成为各大玻璃加工企业热门的话题。Low-e玻璃成本的主要是由于生产成本太高,解决生产成本的有效的途径是提高生产效率。在目前大多数企业是提高玻璃在镀膜机中的走速、提高溅射靶材的功率来提高效率降低成本的。在保证low-e玻璃膜层厚度的时候,玻璃的走速越快与之对应的溅射靶材功率将越高。在low-e玻璃膜层中介质层SiNx的厚度很厚。随着硅铝靶的功率提高,掉渣问题会越来越严重。其根本原因受到硅铝靶溅射速率的限制。

  2、碳化硅材料的介绍

  碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑为原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用广泛、经济的一种。可以称为金钢砂或耐火砂。碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料在电阻炉内经高温冶炼而成。碳化硅晶体结构分为六方或菱面体的α-SiC和立方体的β-SiC(称立方碳化硅)。α-SiC由于其晶体结构中碳和硅原子的堆垛序列不同而构成许多不同变体,已发现70余种。β-SiC于2100℃以上时转变为α-SiC。碳化硅的硬度很大,莫氏硬度为9.5级,仅次于世界上硬的金刚石(10级),具有优良的导热性能,是一种半导体,高温时能抗氧化。

-转自中国玻璃网

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